檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "壓電".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="郭中豐"
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本研究旨在發展一以無桿氣壓缸(XY軸)及非對稱型單桿氣壓缸(Z軸)結合壓電致動之XY-Z三軸長行程奈米精度伺服定位系統,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作進一步的精密補償,其中XY…
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本文第一部分之研究,旨在發展一套高響應、高能源效率的電液泵控伺服系統。傳統的液壓伺服系統中,閥控系統具有高響應之優點,但能源效率較低;而傳統泵控伺服系統雖然具有較高的能源效率,但在響應上卻遠不及閥控…